本文转自：大众日报
方垒 张锡坤
孙启萌展示芯片级的硅基MEMS六维力传感器。（□通讯员 王玉璋 侯振鹏 报道）
□ 本报记者 方垒 张锡坤 “这是我们这次参会带来的新款产品——芯片级的硅基MEMS六维力传感器，尺寸只有8毫米×8毫米，厚度0.8毫米。”8月7日下午，“齐鲁制造会客厅”机器人专场活动现场的展示区，山东港智创信科技有限公司董事长孙启萌从展台上拿起一枚比指甲盖还小的器件，向围观的人介绍。旁边，放着一个传统的六维力传感器——拳头大小，金属外壳，分量十足。一大一小放在一起，对比格外直观。 六维力传感器，是机器人的“力觉神经”——能让机械臂感知到每一个方向的力和力矩，完成打磨、装配等精细操作。传统产品体积大、集成难，难以满足人形机器人手指、灵巧手等狭小空间的需求。 “我们检索了国内外文献，目前这款产品是全球唯一在硅片上实现的六维力传感器。”孙启萌说。 芯片级的尺寸意味着什么？可以直接集成到机器人关节、手指甚至灵巧手内部，让机器人在做精细操作时“感知”到每一个方向的力——拧螺丝能感知是否拧紧、抓鸡蛋能控制不会捏碎、插拔接头能靠“手感”对准位置。过去六维力传感器受限于体积和成本，主要用在工业机器人等大型设备上。港智创信把传感器做到了芯片级，为人形机器人、灵巧手等场景打开了规模化应用的可能。 “我们传统传感器做到2万到3万元一套，这个芯片级传感器出来之后，成本会大幅降低，量产之后应用面会非常广。”孙启萌说。 据了解，目前该公司已实现六维力传感器核心技术自主突破，产品覆盖50N到5000N量程范围，最高精度达0.3%F.S.，并已应用于协作机器人、医疗康复机器人等领域。这款芯片级新品尚处于样品阶段，公司正加快推进量产准备。 展示区里，参会者围了不止一圈——有人仔细端详这枚比指甲盖还小的传感器，有人举起手机拍下对比照片。 “山东造”，正在把机器人的“力觉”越做越小，也越做越精。
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